半導体製造装置

（定義・範囲） 日本標準産業分類の細分類 2667「半導体製造装置製造業」の生産活動を範囲とする。（品目例 示） ウェーハプロセス(電子回路形成)用処理装置、組立用装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、半導体製造装置の部分品・取付具・付属品